博时中证半导体产业ETF

季报日期:  2026-03-31
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	688012	中微公司	15.85%	17.35	5314.28	0.03%	0.33 (1.89%)
2	002371	北方华创	13.40%	10.05	4493.69	0.01%	1.75 (17.41%)
3	688072	拓荆科技	7.38%	6.69	2475.45	0.02%	1.35 (20.13%)
4	688256	寒武纪	6.48%	2.21	2170.96	0.01%	0.39 (17.55%)
5	688041	海光信息	6.26%	9.97	2097.30	0.00%	1.91 (19.18%)
6	300604	长川科技	6.26%	17.33	2097.80	0.04%	3.26 (18.81%)
7	688981	中芯国际	6.05%	21.55	2026.91	0.01%	4.22 (19.58%)
8	688120	华海清科	5.07%	9.76	1698.85	0.03%	1.92 (19.65%)
9	688361	中科飞测	3.81%	8.41	1278.12	0.03%	1.75 (20.86%)
10	300346	南大光电	3.64%	27.00	1218.73	0.04%	5.10 (18.89%)

季报日期: 2026-03-31
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	688012	中微公司	15.85%	17.35	5314.28	0.03%	0.33 (1.89%)
2	002371	北方华创	13.40%	10.05	4493.69	0.01%	1.75 (17.41%)
3	688072	拓荆科技	7.38%	6.69	2475.45	0.02%	1.35 (20.13%)
4	688256	寒武纪	6.48%	2.21	2170.96	0.01%	0.39 (17.55%)
5	688041	海光信息	6.26%	9.97	2097.30	0.00%	1.91 (19.18%)
6	300604	长川科技	6.26%	17.33	2097.80	0.04%	3.26 (18.81%)
7	688981	中芯国际	6.05%	21.55	2026.91	0.01%	4.22 (19.58%)
8	688120	华海清科	5.07%	9.76	1698.85	0.03%	1.92 (19.65%)
9	688361	中科飞测	3.81%	8.41	1278.12	0.03%	1.75 (20.86%)
10	300346	南大光电	3.64%	27.00	1218.73	0.04%	5.10 (18.89%)

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季报日期:  2025-12-31
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	688012	中微公司	16.87%	17.02	4641.23	0.03%	-0.90 (-5.28%)
2	002371	北方华创	13.85%	8.30	3811.74	0.01%	-1.74 (-20.96%)
3	688256	寒武纪	8.97%	1.82	2468.46	0.00%	-0.90 (-49.31%)
4	688981	中芯国际	7.74%	17.33	2128.88	0.01%	-7.84 (-45.21%)
5	688041	海光信息	6.57%	8.06	1809.01	0.00%	-3.67 (-45.51%)
6	688072	拓荆科技	6.41%	5.34	1763.49	0.02%	-0.66 (-12.30%)
7	300604	长川科技	5.18%	14.07	1425.43	0.03%	-4.72 (-33.55%)
8	688120	华海清科	4.28%	7.84	1177.33	0.02%	-2.65 (-33.74%)
9	688361	中科飞测	3.70%	6.65	1017.77	0.03%	新增
10	300346	南大光电	3.41%	21.90	939.47	0.03%	-7.21 (-32.92%)

季报日期: 2025-12-31
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	688012	中微公司	16.87%	17.02	4641.23	0.03%	-0.90 (-5.28%)
2	002371	北方华创	13.85%	8.30	3811.74	0.01%	-1.74 (-20.96%)
3	688256	寒武纪	8.97%	1.82	2468.46	0.00%	-0.90 (-49.31%)
4	688981	中芯国际	7.74%	17.33	2128.88	0.01%	-7.84 (-45.21%)
5	688041	海光信息	6.57%	8.06	1809.01	0.00%	-3.67 (-45.51%)
6	688072	拓荆科技	6.41%	5.34	1763.49	0.02%	-0.66 (-12.30%)
7	300604	长川科技	5.18%	14.07	1425.43	0.03%	-4.72 (-33.55%)
8	688120	华海清科	4.28%	7.84	1177.33	0.02%	-2.65 (-33.74%)
9	688361	中科飞测	3.70%	6.65	1017.77	0.03%	新增
10	300346	南大光电	3.41%	21.90	939.47	0.03%	-7.21 (-32.92%)
11	688019	安集科技	2.96%	3.74	814.28	2.98%	---
12	688126	沪硅产业	2.39%	30.37	657.12	2.40%	---
13	688200	华峰测控	2.08%	3.00	571.49	2.09%	---
14	688082	盛美上海	1.94%	3.04	534.31	1.95%	---
15	301611	珂玛科技	1.72%	5.53	474.09	1.73%	---
16	688037	芯源微	1.38%	2.56	379.92	1.39%	---
17	002409	雅克科技	1.22%	4.52	334.93	1.22%	---
18	300666	江丰电子	1.13%	3.37	310.04	1.13%	---
19	688234	天岳先进	1.10%	3.41	302.88	1.11%	---
20	605358	立昂微	1.08%	8.51	296.32	1.08%	---
21	300236	上海新阳	0.81%	3.48	221.88	0.81%	---
22	688409	富创精密	0.60%	2.43	164.11	0.60%	---
23	688652	京仪装备	0.57%	1.59	156.77	0.57%	---
24	300655	晶瑞电材	0.50%	8.50	137.14	0.50%	---
25	688146	中船特气	0.37%	2.52	101.69	0.37%	---
26	600206	有研新材	0.35%	4.69	95.35	0.35%	---
27	603061	金海通	0.29%	0.57	80.03	0.29%	---
28	603690	至纯科技	0.28%	2.42	76.23	0.28%	---
29	688432	有研硅	0.27%	5.93	73.55	0.27%	---
30	301369	联动科技	0.21%	0.44	58.92	0.22%	---
31	688233	神工股份	0.20%	0.79	54.98	0.20%	---
32	688549	中巨芯	0.16%	4.68	42.68	0.16%	---
33	688535	华海诚科	0.15%	0.37	41.32	0.15%	---
34	688720	艾森股份	0.13%	0.50	35.53	0.13%	---
35	688584	上海合晶	0.13%	1.59	34.90	0.13%	---
36	603078	江化微	0.12%	1.84	32.84	0.12%	---
37	002119	康强电子	0.12%	2.08	34.26	0.13%	---
38	600520	三佳科技	0.09%	1.01	24.85	0.09%	---
39	688478	晶升股份	0.07%	0.55	20.52	0.07%	---
40	003026	中晶科技	0.07%	0.61	18.84	0.07%	---

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季报日期:  2025-09-30
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	688012	中微公司	15.04%	17.92	5357.03	0.03%	2.62 (14.63%)
2	002371	北方华创	12.76%	10.04	4543.05	0.01%	3.68 (36.67%)
3	688256	寒武纪	10.12%	2.72	3602.68	0.01%	0.47 (17.17%)
4	688981	中芯国际	9.90%	25.17	3526.82	0.01%	3.71 (14.76%)
5	688041	海光信息	8.32%	11.73	2963.02	0.01%	1.70 (14.48%)
6	300604	长川科技	5.26%	18.79	1871.86	0.04%	2.79 (14.85%)
7	688120	华海清科	4.87%	10.49	1733.16	0.03%	4.48 (42.74%)
8	688072	拓荆科技	4.38%	6.00	1561.34	0.02%	0.93 (15.50%)
9	300346	南大光电	3.55%	29.11	1263.91	0.04%	4.05 (13.91%)
10	688019	安集科技	3.23%	5.04	1150.65	0.03%	0.78 (15.39%)

季报日期: 2025-09-30
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	688012	中微公司	15.04%	17.92	5357.03	0.03%	2.62 (14.63%)
2	002371	北方华创	12.76%	10.04	4543.05	0.01%	3.68 (36.67%)
3	688256	寒武纪	10.12%	2.72	3602.68	0.01%	0.47 (17.17%)
4	688981	中芯国际	9.90%	25.17	3526.82	0.01%	3.71 (14.76%)
5	688041	海光信息	8.32%	11.73	2963.02	0.01%	1.70 (14.48%)
6	300604	长川科技	5.26%	18.79	1871.86	0.04%	2.79 (14.85%)
7	688120	华海清科	4.87%	10.49	1733.16	0.03%	4.48 (42.74%)
8	688072	拓荆科技	4.38%	6.00	1561.34	0.02%	0.93 (15.50%)
9	300346	南大光电	3.55%	29.11	1263.91	0.04%	4.05 (13.91%)
10	688019	安集科技	3.23%	5.04	1150.65	0.03%	0.78 (15.39%)

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季报日期:  2025-06-30
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	002371	北方华创	14.76%	6.36	2812.46	14.87%	0.15 (2.36%)
2	688012	中微公司	14.63%	15.30	2788.41	14.74%	3.73 (24.40%)
3	688981	中芯国际	9.93%	21.45	1891.58	10.00%	-0.30 (-1.39%)
4	688041	海光信息	7.44%	10.03	1417.35	7.49%	-0.13 (-1.27%)
5	688256	寒武纪	7.11%	2.25	1354.64	7.16%	新增
6	688120	华海清科	5.32%	6.01	1013.48	5.36%	1.68 (27.92%)
7	300346	南大光电	4.16%	25.06	792.87	4.19%	7.67 (30.61%)
8	688072	拓荆科技	4.09%	5.07	779.42	4.12%	0.91 (17.87%)
9	300604	长川科技	3.77%	16.00	718.56	3.80%	2.82 (17.62%)
10	688361	中科飞测	3.59%	8.11	683.18	3.61%	新增

季报日期: 2025-06-30
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	002371	北方华创	14.76%	6.36	2812.46	14.87%	0.15 (2.36%)
2	688012	中微公司	14.63%	15.30	2788.41	14.74%	3.73 (24.40%)
3	688981	中芯国际	9.93%	21.45	1891.58	10.00%	-0.30 (-1.39%)
4	688041	海光信息	7.44%	10.03	1417.35	7.49%	-0.13 (-1.27%)
5	688256	寒武纪	7.11%	2.25	1354.64	7.16%	新增
6	688120	华海清科	5.32%	6.01	1013.48	5.36%	1.68 (27.92%)
7	300346	南大光电	4.16%	25.06	792.87	4.19%	7.67 (30.61%)
8	688072	拓荆科技	4.09%	5.07	779.42	4.12%	0.91 (17.87%)
9	300604	长川科技	3.77%	16.00	718.56	3.80%	2.82 (17.62%)
10	688361	中科飞测	3.59%	8.11	683.18	3.61%	新增
11	688019	安集科技	3.40%	4.26	646.97	3.42%	---
12	688126	沪硅产业	3.16%	32.17	602.30	3.18%	---
13	688200	华峰测控	2.24%	2.96	427.18	2.26%	---
14	688082	盛美上海	1.91%	3.20	364.57	1.93%	---
15	688037	芯源微	1.65%	2.93	314.18	1.66%	---
16	300666	江丰电子	1.50%	3.86	286.03	1.51%	---
17	002409	雅克科技	1.49%	5.18	283.29	1.50%	---
18	605358	立昂微	1.19%	9.74	226.94	1.20%	---
19	688234	天岳先进	0.96%	3.12	182.43	0.96%	---
20	300236	上海新阳	0.81%	4.00	155.20	0.82%	---
21	688409	富创精密	0.80%	2.78	152.84	0.81%	---
22	301611	珂玛科技	0.64%	2.22	122.12	0.65%	---
23	600206	有研新材	0.54%	5.37	102.62	0.54%	---
24	688652	京仪装备	0.46%	1.52	87.28	0.46%	---
25	688146	中船特气	0.44%	2.89	83.56	0.44%	---
26	300655	晶瑞电材	0.41%	7.71	77.20	0.41%	---
27	688584	上海合晶	0.34%	3.62	64.66	0.34%	---
28	603690	至纯科技	0.33%	2.48	62.08	0.33%	---
29	603061	金海通	0.31%	0.70	59.19	0.31%	---
30	688549	中巨芯	0.22%	5.37	41.53	0.22%	---
31	002119	康强电子	0.21%	2.38	40.67	0.22%	---
32	688535	华海诚科	0.21%	0.47	40.63	0.21%	---
33	603078	江化微	0.21%	2.12	39.52	0.21%	---
34	688432	有研硅	0.20%	3.43	37.89	0.20%	---
35	600520	三佳科技	0.18%	1.17	34.18	0.18%	---
36	688233	神工股份	0.17%	1.00	31.68	0.17%	---
37	301369	联动科技	0.16%	0.55	29.54	0.16%	---
38	003026	中晶科技	0.12%	0.64	23.03	0.12%	---
39	688720	艾森股份	0.12%	0.52	22.07	0.12%	---
40	688478	晶升股份	0.11%	0.68	20.66	0.11%	---

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季报日期:  2025-03-31
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	002371	北方华创	15.51%	6.21	2583.36	0.01%	-2.42 (-38.97%)
2	688012	中微公司	12.80%	11.56	2131.81	0.02%	-4.48 (-38.72%)
3	688981	中芯国际	11.67%	21.75	1943.03	0.01%	-8.48 (-39.00%)
4	688041	海光信息	8.62%	10.16	1435.41	0.01%	-3.98 (-39.15%)
5	603501	韦尔股份	7.42%	9.32	1236.49	0.01%	-3.63 (-38.96%)
6	688120	华海清科	4.30%	4.33	716.05	0.03%	-1.61 (-37.11%)
7	688072	拓荆科技	3.94%	4.16	655.93	0.03%	-1.64 (-39.28%)
8	300346	南大光电	3.80%	17.39	633.60	0.03%	-6.44 (-37.02%)
9	300604	长川科技	3.30%	13.18	549.34	0.03%	-5.13 (-38.92%)
10	688019	安集科技	2.81%	2.78	467.18	0.02%	-1.00 (-36.09%)

季报日期: 2025-03-31
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	002371	北方华创	15.51%	6.21	2583.36	0.01%	-2.42 (-38.97%)
2	688012	中微公司	12.80%	11.56	2131.81	0.02%	-4.48 (-38.72%)
3	688981	中芯国际	11.67%	21.75	1943.03	0.01%	-8.48 (-39.00%)
4	688041	海光信息	8.62%	10.16	1435.41	0.01%	-3.98 (-39.15%)
5	603501	韦尔股份	7.42%	9.32	1236.49	0.01%	-3.63 (-38.96%)
6	688120	华海清科	4.30%	4.33	716.05	0.03%	-1.61 (-37.11%)
7	688072	拓荆科技	3.94%	4.16	655.93	0.03%	-1.64 (-39.28%)
8	300346	南大光电	3.80%	17.39	633.60	0.03%	-6.44 (-37.02%)
9	300604	长川科技	3.30%	13.18	549.34	0.03%	-5.13 (-38.92%)
10	688019	安集科技	2.81%	2.78	467.18	0.02%	-1.00 (-36.09%)

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季报日期:  2024-12-31
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	002371	北方华创	15.02%	8.63	3374.33	15.26%	6.84 (79.26%)
2	688012	中微公司	13.51%	16.04	3034.26	13.72%	11.98 (74.66%)
3	688981	中芯国际	12.73%	30.23	2860.84	12.94%	22.40 (74.09%)
4	688041	海光信息	9.43%	14.14	2117.42	9.57%	10.46 (73.97%)
5	603501	豪威集团	6.02%	12.95	1351.74	6.11%	9.56 (73.84%)
6	688120	华海清科	4.31%	5.94	967.77	4.38%	4.52 (76.06%)
7	300346	南大光电	4.09%	23.82	919.39	4.16%	18.46 (77.50%)
8	688072	拓荆科技	3.97%	5.80	891.29	4.03%	4.41 (76.08%)
9	300604	长川科技	3.60%	18.31	808.02	3.65%	14.61 (79.79%)
10	688361	中科飞测	3.13%	8.02	702.51	3.18%	新增

季报日期: 2024-12-31
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	002371	北方华创	15.02%	8.63	3374.33	15.26%	6.84 (79.26%)
2	688012	中微公司	13.51%	16.04	3034.26	13.72%	11.98 (74.66%)
3	688981	中芯国际	12.73%	30.23	2860.84	12.94%	22.40 (74.09%)
4	688041	海光信息	9.43%	14.14	2117.42	9.57%	10.46 (73.97%)
5	603501	豪威集团	6.02%	12.95	1351.74	6.11%	9.56 (73.84%)
6	688120	华海清科	4.31%	5.94	967.77	4.38%	4.52 (76.06%)
7	300346	南大光电	4.09%	23.82	919.39	4.16%	18.46 (77.50%)
8	688072	拓荆科技	3.97%	5.80	891.29	4.03%	4.41 (76.08%)
9	300604	长川科技	3.60%	18.31	808.02	3.65%	14.61 (79.79%)
10	688361	中科飞测	3.13%	8.02	702.51	3.18%	新增
11	688126	沪硅产业	2.88%	34.40	647.33	2.93%	---
12	688019	安集科技	2.35%	3.78	527.44	2.38%	---
13	002436	兴森科技	1.74%	35.27	391.81	1.77%	---
14	688234	天岳先进	1.64%	7.18	367.61	1.66%	---
15	688082	盛美上海	1.63%	3.65	365.40	1.65%	---
16	688200	华峰测控	1.58%	3.39	354.09	1.60%	---
17	002409	雅克科技	1.54%	5.97	345.96	1.56%	---
18	688037	芯源微	1.25%	3.35	280.39	1.27%	---
19	605358	立昂微	1.24%	11.22	277.92	1.26%	---
20	300666	江丰电子	1.19%	3.84	266.69	1.21%	---
21	300236	上海新阳	0.76%	4.54	169.66	0.77%	---
22	688409	富创精密	0.74%	3.21	165.46	0.75%	---
23	300398	飞凯材料	0.62%	8.82	139.00	0.63%	---
24	688146	中船特气	0.43%	3.31	96.21	0.44%	---
25	600206	有研新材	0.43%	6.19	97.00	0.44%	---
26	603690	至纯科技	0.32%	2.82	70.91	0.32%	---
27	300655	晶瑞电材	0.32%	7.73	72.37	0.33%	---
28	688548	广钢气体	0.31%	6.92	69.64	0.31%	---
29	002119	康强电子	0.19%	2.75	42.57	0.19%	---
30	603078	江化微	0.18%	2.41	40.34	0.18%	---
31	600520	三佳科技	0.18%	1.32	40.26	0.18%	---
32	688478	晶升股份	0.18%	1.46	41.10	0.19%	---
33	688661	和林微纳	0.18%	1.24	40.82	0.18%	---
34	688549	中巨芯	0.17%	4.52	38.49	0.17%	---
35	688535	华海诚科	0.14%	0.41	30.71	0.14%	---
36	301369	联动科技	0.13%	0.57	29.86	0.14%	---
37	688233	神工股份	0.11%	1.05	24.53	0.11%	---
38	603061	金海通	0.10%	0.31	22.34	0.10%	---
39	003026	中晶科技	0.10%	0.67	21.65	0.10%	---
40	688328	深科达	0.05%	0.68	10.14	0.05%	---

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季报日期:  2024-09-30
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	688012	中微公司	14.43%	4.07	666.73	0.01%	0.13 (3.15%)
2	002371	北方华创	14.18%	1.79	655.10	0.00%	0.05 (2.79%)
3	688981	中芯国际	10.17%	7.83	469.88	0.00%	0.25 (3.17%)
4	688041	海光信息	8.22%	3.68	380.06	0.00%	0.11 (2.99%)
5	603501	韦尔股份	7.86%	3.39	363.03	0.00%	0.11 (3.14%)
6	688120	华海清科	4.98%	1.42	230.05	0.01%	0.51 (36.10%)
7	688072	拓荆科技	4.32%	1.39	199.80	0.01%	0.05 (3.54%)
8	300346	南大光电	4.10%	5.36	189.48	0.01%	0.08 (1.49%)
9	688126	沪硅产业	3.33%	8.11	153.93	0.00%	0.25 (3.10%)
10	300604	长川科技	3.04%	3.70	140.27	0.01%	0.12 (3.24%)

季报日期: 2024-09-30
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	688012	中微公司	14.43%	4.07	666.73	0.01%	0.13 (3.15%)
2	002371	北方华创	14.18%	1.79	655.10	0.00%	0.05 (2.79%)
3	688981	中芯国际	10.17%	7.83	469.88	0.00%	0.25 (3.17%)
4	688041	海光信息	8.22%	3.68	380.06	0.00%	0.11 (2.99%)
5	603501	韦尔股份	7.86%	3.39	363.03	0.00%	0.11 (3.14%)
6	688120	华海清科	4.98%	1.42	230.05	0.01%	0.51 (36.10%)
7	688072	拓荆科技	4.32%	1.39	199.80	0.01%	0.05 (3.54%)
8	300346	南大光电	4.10%	5.36	189.48	0.01%	0.08 (1.49%)
9	688126	沪硅产业	3.33%	8.11	153.93	0.00%	0.25 (3.10%)
10	300604	长川科技	3.04%	3.70	140.27	0.01%	0.12 (3.24%)

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季报日期:  2024-06-30
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	002371	北方华创	15.07%	1.74	556.61	15.29%	---
2	688012	中微公司	15.06%	3.94	556.17	15.28%	---
3	688981	中芯国际	9.47%	7.58	349.64	9.60%	---
4	603501	豪威集团	8.82%	3.28	325.93	8.95%	---
5	688041	海光信息	6.80%	3.57	251.04	6.90%	---
6	688120	华海清科	4.66%	0.91	172.16	4.73%	---
7	688072	拓荆科技	4.35%	1.34	160.76	4.42%	---
8	300346	南大光电	4.09%	5.28	150.96	4.15%	---
9	688019	安集科技	2.97%	0.87	109.77	3.02%	---
10	688126	沪硅产业	2.94%	7.86	108.53	2.98%	---

季报日期: 2024-06-30
序号	股票代码	股票名称	占净值比例	持股数量(万股)	持股市值(万元)	占股票市值比例(季报)	持仓变动
1	002371	北方华创	15.07%	1.74	556.61	15.29%	---
2	688012	中微公司	15.06%	3.94	556.17	15.28%	---
3	688981	中芯国际	9.47%	7.58	349.64	9.60%	---
4	603501	豪威集团	8.82%	3.28	325.93	8.95%	---
5	688041	海光信息	6.80%	3.57	251.04	6.90%	---
6	688120	华海清科	4.66%	0.91	172.16	4.73%	---
7	688072	拓荆科技	4.35%	1.34	160.76	4.42%	---
8	300346	南大光电	4.09%	5.28	150.96	4.15%	---
9	688019	安集科技	2.97%	0.87	109.77	3.02%	---
10	688126	沪硅产业	2.94%	7.86	108.53	2.98%	---
11	300604	长川科技	2.63%	3.58	97.27	2.67%	---
12	688037	芯源微	2.51%	1.04	92.55	2.54%	---
13	002409	雅克科技	2.33%	1.37	86.19	2.37%	---
14	002436	兴森科技	2.24%	8.03	82.83	2.28%	---
15	688234	天岳先进	2.09%	1.64	77.07	2.12%	---
16	688082	盛美上海	1.98%	0.87	73.24	2.01%	---
17	688200	华峰测控	1.90%	0.77	70.22	1.93%	---
18	605358	立昂微	1.61%	2.57	59.47	1.63%	---
19	300666	江丰电子	1.16%	0.90	42.80	1.18%	---
20	300236	上海新阳	0.88%	1.04	32.39	0.89%	---
21	603690	至纯科技	0.79%	1.27	29.31	0.81%	---
22	688409	富创精密	0.75%	0.75	27.65	0.76%	---
23	688596	正帆科技	0.48%	0.54	17.67	0.49%	---
24	300655	晶瑞电材	0.34%	1.73	12.47	0.34%	---
25	600206	有研新材	0.33%	1.38	12.28	0.34%	---
26	300398	飞凯材料	0.33%	1.00	12.30	0.34%	---
27	688146	中船特气	0.29%	0.36	10.71	0.29%	---
28	603061	金海通	0.23%	0.13	8.36	0.23%	---
29	603078	江化微	0.20%	0.54	7.23	0.20%	---
30	002119	康强电子	0.18%	0.59	6.61	0.18%	---
31	688661	和林微纳	0.15%	0.18	5.61	0.15%	---
32	688432	有研硅	0.15%	0.57	5.54	0.15%	---
33	688478	晶升股份	0.14%	0.18	5.24	0.14%	---
34	301369	联动科技	0.14%	0.12	5.11	0.14%	---
35	600520	三佳科技	0.12%	0.30	4.52	0.12%	---
36	688233	神工股份	0.10%	0.19	3.74	0.10%	---
37	688535	华海诚科	0.10%	0.05	3.60	0.10%	---
38	003026	中晶科技	0.09%	0.11	3.18	0.09%	---
39	688328	深科达	0.06%	0.15	2.15	0.06%	---
40	688419	耐科装备	0.04%	0.05	1.60	0.04%	---

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